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国家重点研发计划“超高纯铜旋转靶材制备技术与产业化”产能核算项目通过专家评估
近日,辽控集团控股企业沈阳有色金属加工有限公司(以下简称沈阳有色)承接的“超高纯铜旋转靶材制备技术与产业化”产能核算项目顺利通过国家科技部重点研发计划“大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术”课题专家评估。
在当前我国高端半导体新兴产业快速发展,国产高品质、大规格稀有稀贵金属溅射靶材需求迅猛增长的形势下,该项目顺利通过国家重点研发计划项目产能验收,标志着公司在超高纯铜旋转靶材制造领域取得了新的突破,为我国掌握稀有稀贵金属靶材“大规格、高纯化、细晶化、均质化、高精度、高可靠”等制备过程中的关键技术奠定基础,填补了我国相关技术和产品空白,有利于摆脱国家安全战略领域对国外产品的依赖。
此外,作为“辽宁省瞪羚企业”的沈阳有色,还获得省科技厅政府奖励资金20万元,用于后续研发工作。